PC / PRESSURE
產品外觀因配置而異。
壓力測量與控制
KP300 系列
精巧型 KP300 系列壓力控制器適合整合至需要穩定、可重複壓力控制的設備中。應用包括晶圓背面氦氣冷卻、液態前驅物輸送系統壓力控制和 MOCVD 蒸氣輸送。
- 可選壓力範圍
- 0–50 或 0–100 Torr
- 壓力控制精度
- ±0.5%F.S.
- 控制範圍
- 滿量程的 1–100%
- 反應時間
- ≤1s
針對您的應用確認配置與適用性。
壓力控制參數
| 可選壓力範圍 | 0–50 或 0–100 Torr |
| 壓力控制精度 | ±0.5%F.S. |
| 控制範圍 | 滿量程的 1–100% |
| 反應時間 | ≤1s |
流量檢測參數
| 流量測量範圍（氨氣） | 0~20/50/100 sccm（其他量程請聯繫我們） |
| 流量檢測精度 | 0~25%F.S.: <0.3%F.S. >25%F.S.: 1%RD |
漏率
| 外漏率 | ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s（氮氣） |
| 內漏率 | <0.1 sccm（氮氣） |
電氣參數
| 電源 | 18~32V（推薦 24V） |
| 壓力訊號輸出 | 0~10V |
| 流量訊號輸出 | 0~5V |
通訊介面
| 通訊 | RS485, EtherCAT, DeviceNet |
機械參數
| 連接器類型 | 1/4 VCR |
| 入口壓力範圍 | 1.5~3 bar |
環境條件
| 工作溫度 | 15~40℃ |
測量條件與說明
- KP300 系列體積超小，適合系統整合。
- 兼具高精度與高解析度的高成本效益方案。
- 適用於半導體晶圓氦氣冷卻系統、液態源壓力控制系統和 MOCVD 蒸氣壓力控制。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
