FCS流體控制系統與解決方案QT720 系列多氣體混配系統QT720 系列將差壓式質量流量控制器與氣體混配模組結合,實現即時壓力或流量控制。混合精度±0.6% (100sccm~20SLPM)查看規格對比
FCS流體控制系統與解決方案QT-COMP 整合式氣體控制系統QT-COMP 是面向 OEM 和系統整合商的精巧型無管路氣體控制系統。流量範圍0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min(N₂ 當量)查看規格對比