PC / PRESSURE
產品外觀因配置而異。
壓力測量與控制
KP200 系列
KP200 系列氣體壓力控制器採用全金屬密封，支援上游壓力控制，滿量程控制壓力為 1,200 mbar。介面可選 RS-485 或 EtherCAT，並提供 0–5 V 類比訊號選項。應用包括半導體加工、太陽能光電生產和真空鍍膜。
- 壓力類型
- 絕對壓力
- 滿量程控制壓力
- 1200mBar
- 壓力控制精度
- ±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS)
- 反應時間
- <1s
針對您的應用確認配置與適用性。
基本參數
| 壓力類型 | 絕對壓力 |
| 滿量程控制壓力 | 1200 mBar |
| 最大額定壓力 | 3 MPa |
| 控制模式 | 上游 |
| 閥門滿量程流量 | 2, 3, 5 SLM |
| 反應時間 | <1 s |
| 溫度係數 | <0.02%FS/℃ |
| 壓力解析度 | 0.1 mBar |
| 壓力控制精度 | ±1%SP(≥10%FS) / 0.2%FS(<10%FS) |
製程連接
| 製程連接 | 1/4 英寸卡套接頭、1/4 英寸 VCR |
| 電氣連接 | M8、雙 RJ45 連接埠、DB9M |
| 通訊 | RS485, EtherCAT, 0~5V |
閥門規格
| 閥門類型 | 常閉 |
| 外漏率 | <1×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
| 內漏率 | <0.1%FS |
電氣參數
| 電源 | 15~24VDC |
環境條件
| 工作溫度 | 10~50 ℃ |
測量條件與說明
- KP200 氣體壓力控制器採用全金屬密封，實現穩定、可重複的壓力控制。
- 適用於半導體、太陽光電生產和真空鍍膜。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
