MFC / GAS FLOW
產品外觀因配置而異。
質量流量控制器（MFC）
KC800 系列
KC800 系列數位式質量流量控制器可在入口壓力變化時保持穩定的流量控制。內建顯示螢幕支援操作與設定，包括氣體選擇和量程調整，適用於半導體製程應用。
- 量程
- 0~10 sccm 至 0~10 slm（氮氣當量）
- 精度
- ±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
- 量程比
- 50:1
- 反應時間
- ≤1s
針對您的應用確認配置與適用性。
基本參數
| 介質要求 | 潔淨、乾燥氣體 |
| 流量範圍¹（氮氣等效值） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm；其他量程可客製，請聯繫我們 |
| 精度 | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| 量程比 | 50:1 |
| 反應時間⁴ | ≤1s |
| 線性度 | ≤±0.5%F.S. |
| 重複性 | ≤±0.2%F.S. |
| 漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
壓力特性
| 工作壓差 | 50~300 kPa |
| 壓力波動補償 | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| 最大額定壓力 | 500 kPa |
環境條件
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 工作濕度 | 10%~90% R.H.（無凝露） |
| 儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數
| 電源 | DC24V |
| 功耗 | ≤4.0W |
| 啟動時間 | ≤1s |
通訊介面
| 數位通訊 | DeviceNet 或 RS485 |
| 類比控制 | 0~5V |
機械參數
| 連接器類型 | VCR：1/4 inch、1/2 inch；卡套：1/4 inch、1/2 inch |
| 接液材料 | 316L 不鏽鋼 |
| 密封材料 | FKM 氟橡膠或全金屬 |
| 重量 | 1.2kg |
測量條件與說明
- 除非另有說明，本產品在以下條件下校準：氮氣、25℃、水平安裝。
- %S.P. 表示誤差占設定值的百分比。
- %F.S. 表示誤差占滿量程的百分比。
- 反應時間是指達到設定值 ±2% 範圍內所需的時間。
- 對壓力變化不敏感：在規定壓差範圍內，流量控制不受入口壓力波動影響。
訂購前，請與我們的團隊確認流體相容性、材質、連接方式及可用配置。
