FCS流体控制系统与解决方案QT720 系列多气体混配系统QT720 系列将差压式质量流量控制器与气体混配模块结合,实现实时压力或流量控制。混合精度±0.6% (100sccm~20SLPM)查看规格对比
FCS流体控制系统与解决方案QT-COMP 集成气体控制系统QT-COMP 是面向 OEM 和系统集成商的紧凑型无管路气体控制系统。流量范围0.06~3 mln/min 至 1~50 Ln/min(N₂ 当量)查看规格对比