MFC / GAS FLOW
产品外观因配置而异。
质量流量控制器（MFC）
KC200 系列
KC200 系列质量流量控制器适用于半导体制造、光伏生产和真空镀膜设备的集成，提供 EtherCAT 和 RS-485 版本。接液材料、密封选项及气体兼容性请参阅型号规格。
- 量程
- 0~10 sccm 至 0~400 slm（氮气当量）
- 精度
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- 量程比
- 50:1
- 响应时间
- 控制器 ≤1s / 流量计 ≤10ms
针对您的应用确认配置与适用性。
基本参数
| 介质要求 | 洁净、干燥气体 |
| 介质类型 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氢气、甲烷、氨气、硅烷、三氯化硼、氯气等。 |
| 流量范围¹（氮气等效值） | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——量程 ≥100 slm 采用外置阀结构 ——可提供其他量程，请联系我们 |
| 精度 | ±0.3%F.S.²（≤30%F.S.）——%F.S. 表示误差占满量程的百分比；±1.0%S.P.³（>30%F.S.）——%S.P. 表示误差占设定值的百分比 |
| 量程比 | 50:1 |
| 响应时间⁴ | 控制器：≤1s；流量计：≤10ms ——响应时间指达到设定值或最终稳定值 ±2% 范围内所需的时间 |
| 重复性 | ≤±0.2%F.S. |
| 分辨率 | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| 漏率 | FKM 密封：≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe；全金属密封：≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——量程 ≥100 slm 时不提供全金属密封版本 |
| 最大额定压力 | 10bar |
环境条件
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 工作湿度 | 10%~90% R.H.（无凝露） |
| 工作压力⁵ | 控制器：最大 6 bar（可定制）；流量计：10 bar ——工作压力指入口与出口之间的压差 |
| 储存温度 | -20~85℃ |
电气参数
| 电源 | DC24V |
| 功耗 | ≤2.7W |
| 启动时间 | ≤1s |
通信接口
| EtherCAT 版本 | RJ45 双端口（带 LED），设备地址 1-999，可通过上位机软件或命令配置 |
| RS485 版本 | DB9M 接口或 RJ45 双端口；Modbus-RTU 协议，可选 MKS 协议；设备地址 1-99；波特率支持 9600、19200（默认）、38400 等，可通过 DIP 拨码开关配置 |
| 模拟信号（可选 RS485 版本） | 0-5V 或 4-20mA（通过 DB9M 接口） |
| 显示 | EtherCAT 版本：有（位于顶部）；RS485 版本：无 |
机械参数
| 连接器类型 | 卡套：1/4inch、1/2inch；VCR：1/4inch、1/2inch；可提供其他规格 |
| 接液材料 | FKM 密封：316L 不锈钢、氟橡胶、氮化硅；全金属密封：316L 不锈钢 ——量程 ≥100 slm 时不提供全金属密封版本 |
| 本体材质 | 底座：316L 不锈钢；外壳：铝合金 |
| 密封材料 | FKM 氟橡胶或全金属 |
| 重量 | 控制器：0.85kg~2.8kg；流量计：0.80kg |
测量条件与说明
- 除非另有说明，本产品在以下条件下校准：氮气、25℃、2.5 bar 压差（入口 3.5 barA，出口 1 barA）、水平安装。
- 建议在入口安装适当尺寸的直管段，否则可能出现精度偏差。
- 建议在入口与出口使用尽可能大口径的接头，以避免额外压力损失。
- 所示量程适用于氮气。
- %F.S. 表示误差占满量程的百分比。
- %S.P. 表示误差占设定值的百分比。
- 响应时间是指达到设定值 ±2% 范围内所需的时间。
- 工作压力指入口与出口之间的压差。
订购前，请与我们的团队确认流体兼容性、材质、连接方式及可用配置。
