MFC / GAS FLOW
El aspecto del producto varía según la configuración.
Controlador de caudal másico (MFC)
SERIE KC600
El controlador de caudal másico de gas de la serie KC600 combina un sensor de caudal industrial con una pantalla doble y un rango de caudal ajustable. La configuración y la supervisión se realizan mediante software para PC. Las aplicaciones habituales incluyen el procesamiento de semiconductores, la producción fotovoltaica y el recubrimiento al vacío.
- Rango
- 0~20 sccm a 0~20 slm (equivalente en nitrógeno)
- Exactitud
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Relación de regulación
- 100:1
- Tiempo de respuesta
- ≤0.5s
Configuración e idoneidad confirmadas para su aplicación.
Parámetros básicos
| Requisito del fluido | Gas limpio, seco y no corrosivo |
| Tipo de fluido | Aire, nitrógeno, oxígeno, dióxido de carbono, helio, hidrógeno, metano, argón, etc. |
| Rango de caudal¹ (equivalente en nitrógeno) | (0~20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm Otros rangos personalizables; contáctenos |
| Exactitud | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) |
| Relación de regulación | 100:1 |
| Tiempo de respuesta⁴ | ≤0.5s |
| Repetibilidad | ≤±0.2%F.S. |
| Resolución | 0.001 sccm, ≤20 sccm 0.01 sccm, ≤100 sccm y >20 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm y >100 sccm 1 sccm, >1 slm |
| Tasa de fuga | ≤1×10⁻¹⁰ Pam³/sHe |
| Presión nominal máxima | 9.8bar |
Condiciones ambientales
| Temperatura de funcionamiento | 0~50℃ |
| Humedad de funcionamiento | 10%~90% R.H. (sin condensación) |
| Presión de funcionamiento⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm (según el rango) |
| Temperatura de almacenamiento | -20~85℃ |
Parámetros eléctricos
| Alimentación | DC24V |
| Consumo de energía | ≤4.0W |
| Tiempo de arranque | ≤1s |
Interfaz de comunicación
| Tipo de interfaz | D-SUB9, RJ45 |
| Control analógico | 0-5V o 4-20mA |
| Control digital | RS485 o RS232 |
Señal digital (RS485/RS232)
| Tipo de interfaz | D-SUB9 o RJ45 |
| Velocidad de transmisión | 9600, 38400, 115200 (predeterminado) |
| Protocolo | Modbus-RTU |
| Dirección del dispositivo | 1 (predeterminado) ~99 |
Parámetros mecánicos
| Tipo de conector | Racor de compresión: 1/4 inch VCR: 1/4 inch Otros disponibles |
| Materiales en contacto con el fluido | Acero inoxidable 316L, caucho fluorado, sílice |
| Material del cuerpo | Base: acero inoxidable 316L Carcasa: aleación de aluminio |
| Material del sello | Caucho fluorado FKM |
| Peso | 0.95kg |
Condiciones y notas de medición
- Salvo que se indique lo contrario, este producto se calibra en las siguientes condiciones: nitrógeno, 25℃, presión diferencial de 2.5 bar (entrada de 3.5 barA, salida de 1 barA), posición horizontal.
- Se recomienda instalar un tramo de tubería recta de tamaño adecuado en la entrada; de lo contrario, pueden producirse desviaciones de exactitud.
- Se recomienda utilizar los racores de mayor tamaño posible en la entrada y la salida para evitar pérdidas de presión adicionales.
- Los rangos indicados están disponibles para nitrógeno.
- %F.S. indica el error como porcentaje del fondo de escala.
- %S.P. indica el error como porcentaje del punto de ajuste.
- El tiempo de respuesta es el tiempo necesario para alcanzar ±2% del punto de ajuste.
- La presión de funcionamiento se refiere a la presión diferencial entre la entrada y la salida.
Confirme con nuestro equipo la compatibilidad del fluido, los materiales, las conexiones y la configuración disponible antes de realizar el pedido.
