MFC / GAS FLOW
El aspecto del producto varía según la configuración.
Controlador de caudal másico (MFC)
Serie KC200
El controlador de caudal másico de la serie KC200 está diseñado para integrarse en equipos de fabricación de semiconductores, producción fotovoltaica y recubrimiento al vacío. Hay versiones EtherCAT y RS-485 disponibles. Consulte las especificaciones del modelo para conocer los materiales en contacto con el fluido, las opciones de sellado y la compatibilidad con gases.
- Rango
- 0~10 sccm a 0~400 slm (equivalente en nitrógeno)
- Exactitud
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Relación de regulación
- 50:1
- Tiempo de respuesta
- Controlador ≤1s / Caudalímetro ≤10ms
Configuración e idoneidad confirmadas para su aplicación.
Parámetros básicos
| Requisito del fluido | Gas limpio y seco |
| Tipo de fluido | Aire, nitrógeno, oxígeno, dióxido de carbono, hidrógeno, metano, amoníaco, silano, tricloruro de boro, cloro, etc. |
| Rango de caudal¹ (equivalente en nitrógeno) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——Los rangos ≥100 slm utilizan una estructura de válvula externa ——Otros rangos disponibles; contáctenos |
| Exactitud | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ——%F.S. indica el error como porcentaje del fondo de escala ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) ——%S.P. indica el error como porcentaje del punto de ajuste |
| Relación de regulación | 50:1 |
| Tiempo de respuesta⁴ | Controlador: ≤1s Caudalímetro: ≤10ms ——El tiempo de respuesta es el tiempo necesario para alcanzar ±2% del punto de ajuste o del valor estable final |
| Repetibilidad | ≤±0.2%F.S. |
| Resolución | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| Tasa de fuga | Sello de FKM: ≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe Sello totalmente metálico: ≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——Versión con sello totalmente metálico no disponible para rangos ≥100 slm |
| Presión nominal máxima | 10bar |
Condiciones ambientales
| Temperatura de funcionamiento | 0~50℃ |
| Humedad de funcionamiento | 10%~90% R.H. (sin condensación) |
| Presión de funcionamiento⁵ | Controlador: máx. 6 bar (personalizable) Caudalímetro: 10 bar ——La presión de trabajo se refiere a la presión diferencial entre la entrada y la salida |
| Temperatura de almacenamiento | -20~85℃ |
Parámetros eléctricos
| Alimentación | DC24V |
| Consumo de energía | ≤2.7W |
| Tiempo de arranque | ≤1s |
Interfaz de comunicación
| Versión EtherCAT | Puerto RJ45 doble (con LED), dirección del dispositivo 1-999 Configurable mediante software del equipo anfitrión o comando |
| Versión RS485 | Interfaz DB9M o puerto doble RJ45; protocolo Modbus-RTU Protocolo MKS opcional; dirección del dispositivo 1-99 Velocidades de transmisión admitidas: 9600, 19200 (predeterminada), 38400, etc. Configurable mediante interruptor DIP |
| Señal analógica (versión RS485 opcional) | 0-5V o 4-20mA (mediante interfaz DB9M) |
| Pantalla | Versión EtherCAT: Sí (en la parte superior) Versión RS485: No |
Parámetros mecánicos
| Tipo de conector | Racor de compresión: 1/4inch, 1/2inch; VCR: 1/4inch, 1/2inch; Otros disponibles |
| Materiales en contacto con el fluido | Sello de FKM: acero inoxidable 316L, caucho fluorado, nitruro de silicio Sello totalmente metálico: acero inoxidable 316L ——Versión con sello totalmente metálico no disponible para rangos ≥100 slm |
| Material del cuerpo | Base: acero inoxidable 316L Carcasa: aleación de aluminio |
| Material del sello | Caucho fluorado FKM o totalmente metálico |
| Peso | Controlador: 0.85kg~2.8kg Caudalímetro: 0.80kg |
Condiciones y notas de medición
- Salvo que se indique lo contrario, este producto se calibra en las siguientes condiciones: nitrógeno, 25℃, presión diferencial de 2.5 bar (entrada de 3.5 barA, salida de 1 barA), posición horizontal.
- Se recomienda instalar un tramo de tubería recta de tamaño adecuado en la entrada; de lo contrario, pueden producirse desviaciones de exactitud.
- Se recomienda utilizar los racores de mayor tamaño posible en la entrada y la salida para evitar pérdidas de presión adicionales.
- Los rangos indicados están disponibles para nitrógeno.
- %F.S. indica el error como porcentaje del fondo de escala.
- %S.P. indica el error como porcentaje del punto de ajuste.
- El tiempo de respuesta es el tiempo necesario para alcanzar ±2% del punto de ajuste.
- La presión de funcionamiento se refiere a la presión diferencial entre la entrada y la salida.
Confirme con nuestro equipo la compatibilidad del fluido, los materiales, las conexiones y la configuración disponible antes de realizar el pedido.
