MFC / GAS FLOW
Das Erscheinungsbild des Produkts variiert je nach Konfiguration.
Massendurchflussregler (MFC)
Baureihe KC800
Der digitale Massendurchflussregler der Serie KC800 ist für eine stabile Durchflussregelung bei wechselndem Eingangsdruck ausgelegt. Eine integrierte Anzeige unterstützt Bedienung und Konfiguration, einschließlich Gasauswahl und Bereichsanpassung. Das Gerät ist für Halbleiterprozesse vorgesehen.
- Bereich
- 0~10 sccm bis 0~10 slm (Stickstoffäquivalent)
- Genauigkeit
- ±1.0%S.P. (>25%F.S.) / ±0.25%F.S. (≤25%F.S.)
- Messbereichsverhältnis
- 50:1
- Ansprechzeit
- ≤1s
Konfiguration und Eignung für Ihre Anwendung bestätigt.
Grundparameter
| Medienanforderung | Sauberes, trockenes Gas |
| Durchflussbereich¹ (Stickstoffäquivalent) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10) slm Weitere Bereiche auf Anfrage anpassbar |
| Genauigkeit | ±1.0%S.P.² (>25%F.S.) ±0.25%F.S.³ (≤25%F.S.) |
| Messbereichsverhältnis | 50:1 |
| Ansprechzeit⁴ | ≤1s |
| Linearität | ≤±0.5%F.S. |
| Wiederholbarkeit | ≤±0.2%F.S. |
| Leckrate | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
Druckeigenschaften
| Betriebsdifferenzdruck | 50~300 kPa |
| Kompensation von Druckschwankungen | ≤±(5.0%S.P.+1.5%F.S.) @5psi/s |
| Maximale Druckfestigkeit | 500 kPa |
Umgebungsbedingungen
| Betriebstemperatur | 0~50℃ |
| Betriebsluftfeuchtigkeit | 10%~90% R.H. (keine Kondensation) |
| Lagertemperatur | -20~85℃ |
Elektrische Parameter
| Stromversorgung | DC24V |
| Leistungsaufnahme | ≤4.0W |
| Anlaufzeit | ≤1s |
Kommunikationsschnittstelle
| Digitale Kommunikation | DeviceNet oder RS485 |
| Analoge Regelung | 0~5V |
Mechanische Parameter
| Steckverbindertyp | VCR: 1/4 inch, 1/2 inch Klemmring: 1/4 inch, 1/2 inch |
| Medienberührte Werkstoffe | Edelstahl 316L |
| Dichtungswerkstoff | FKM-Fluorkautschuk oder Ganzmetall |
| Gewicht | 1.2kg |
Messbedingungen und Hinweise
- Sofern nicht anders angegeben, wird dieses Produkt unter folgenden Bedingungen kalibriert: Stickstoff, 25℃, horizontale Einbaulage.
- %S.P. bezeichnet den Fehler in Prozent des Sollwerts.
- %F.S. bezeichnet den Fehler in Prozent des Messbereichsendwerts.
- Die Ansprechzeit bezeichnet die Zeit bis zum Erreichen von ±2% des Sollwerts.
- Druckunempfindlich: Innerhalb des angegebenen Differenzdruckbereichs wird die Durchflussregelung nicht durch Schwankungen des Einlassdrucks beeinflusst.
Lassen Sie vor der Bestellung Fluidverträglichkeit, Werkstoffe, Anschlüsse und verfügbare Konfiguration von unserem Team bestätigen.
