MFC / GAS FLOW
Das Erscheinungsbild des Produkts variiert je nach Konfiguration.
Massendurchflussregler (MFC)
KC80
Der digitale Gasdurchflussregler KC80 bietet eine kompakte Bauweise, Temperaturkompensation und Unempfindlichkeit gegenüber elektromagnetischen Störungen. Zu den Anwendungen zählen Gasmischung, Analysegeräte, Vakuumbeschichtung, Schweißen, Kristallzuchtöfen und Plasmareinigung.
- Bereich
- 0~10 sccm bis 0~20 slm (Stickstoffäquivalent)
- Genauigkeit
- ±0.8%F.S. oder ±1.0%S.P. (je nachdem, welcher Wert größer ist)
- Messbereichsverhältnis
- 100:1
- Ansprechzeit
- ≤1s
Konfiguration und Eignung für Ihre Anwendung bestätigt.
Grundparameter
| Medienanforderung | Sauberes, trockenes, nicht korrosives Gas |
| Medientyp | Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlendioxid, Helium, Wasserstoff, Methan, Argon usw. |
| Durchflussbereich¹ (Stickstoffäquivalent) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20) slm Weitere Bereiche auf Anfrage anpassbar |
| Genauigkeit | ±0.8%F.S.² oder ±1.0%S.P.³ Je nachdem, welcher Wert größer ist |
| Messbereichsverhältnis | 100:1 |
| Ansprechzeit⁴ | ≤1s |
| Wiederholbarkeit | ≤±0.2%F.S. |
| Auflösung | 0.01 sccm, ≤100 sccm 0.1 sccm, ≤1 slm und >100 sccm 1 sccm, ≤5 slm und >1 slm 0.01 slm, >5 slm |
| Leckrate | ≤1×10⁻⁹ Pam³/sHe |
| Maximale Druckfestigkeit | 9.8bar |
Umgebungsbedingungen
| Betriebstemperatur | 0~50℃ |
| Betriebsluftfeuchtigkeit | 10%~90% R.H. (keine Kondensation) |
| Betriebsdruck⁵ | 0.5~4 bar, >2 slm 0.5~6 bar, ≤2 slm (bereichsabhängig) |
| Lagertemperatur | -20~85℃ |
Elektrische Parameter
| Stromversorgung | DC24V |
| Leistungsaufnahme | ≤2.7W |
| Anlaufzeit | ≤1s |
Kommunikationsschnittstelle
| Schnittstellentyp | D-SUB9 |
| Analoge Regelung | 0~5V oder 4~20mA |
| Digitale Regelung | RS485 oder RS232 |
Digitalsignal (RS485/RS232)
| Schnittstellentyp | D-SUB9 |
| Baudrate | 9600 (Standard), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 Über Befehl oder Hostsoftware konfigurierbar |
| Protokoll | Modbus-RTU |
| Geräteadresse | 1 (Standard) ~250 Über Befehl oder Hostsoftware konfigurierbar |
Mechanische Parameter
| Steckverbindertyp | Klemmring: 8mm, 1/4inch, 1/8inch Weitere erhältlich |
| Medienberührte Werkstoffe | Edelstahl 316L, Fluorkautschuk, Siliziumdioxid |
| Gehäusematerial | Grundkörper: Edelstahl 316L Gehäuse: Aluminiumlegierung (KC80) / DT4C (E-P100-Serie) |
| Dichtungswerkstoff | FKM-Fluorkautschuk |
| Gewicht | 0.90kg |
Messbedingungen und Hinweise
- Sofern nicht anders angegeben, wird dieses Produkt unter folgenden Bedingungen kalibriert: Stickstoff, 25℃, 2.5 bar Differenzdruck (Eingang 3.5 barA, Ausgang 1 barA), horizontale Einbaulage.
- Am Einlass wird ein gerader Rohrabschnitt geeigneter Größe empfohlen; andernfalls können Genauigkeitsabweichungen auftreten.
- Verwenden Sie möglichst große Einlass- und Auslassanschlüsse, um zusätzliche Druckverluste zu vermeiden.
- Die angegebenen Bereiche sind für Stickstoff verfügbar.
- %F.S. bezeichnet den Fehler in Prozent des Messbereichsendwerts.
- %S.P. bezeichnet den Fehler in Prozent des Sollwerts.
- Die Ansprechzeit bezeichnet die Zeit bis zum Erreichen von ±2% des Sollwerts.
- Der Betriebsdruck bezeichnet den Differenzdruck zwischen Ein- und Ausgang.
Lassen Sie vor der Bestellung Fluidverträglichkeit, Werkstoffe, Anschlüsse und verfügbare Konfiguration von unserem Team bestätigen.
