
L’aspect du produit varie selon la configuration.
Solutions de régulation des fluides (FCS)
Système intégré de régulation de gaz QT-COMP
Le QT-COMP est un système compact de régulation de gaz sans tuyauterie, destiné aux équipementiers OEM et aux intégrateurs de systèmes. Les modules de débit et de pression peuvent être associés à des vannes, des filtres et des chambres de mélange sur un collecteur modulaire. Des configurations de 3 à 9 voies sont disponibles. L’assemblage et les essais en usine simplifient la mise en service, tandis que les modules accessibles par le dessus facilitent la maintenance dans les équipements à espace restreint.
- Plage de débit
- 0.06~3 mln/min à 1~50 Ln/min (équivalent N₂)
- Précision (débit)
- ±0.5%Rd ±0.1%FS (standard) ; ±1%FS pour les faibles plages
- Plage de pression
- 2~100 mbar à 0.2~10 bar (absolue/relative)
- Précision (pression)
- ±0.5%FS
Configuration et adéquation confirmées pour votre application.
Performances principales
| Plage de débit | 0.06~3 mln/min à 1~50 Ln/min (équivalent N₂), plages supérieures personnalisables |
| Précision du débit | ±0.5% Rd ±0.1% FS (standard) ; ±1% FS pour les plages ≤3.5 mln/min |
| Rapport de plage | 1:50 (jusqu’à 1:187.5 en mode numérique) |
| Répétabilité | <0.1%FS; <0.2%Rd |
| Temps de stabilisation | ≤1.2s (valeur typique au-dessus de 5%FS) |
| Stabilité de régulation | < ±0.1%FS (typique pour 1 Ln/min N₂) |
| Réponse du capteur | <0.1s |
| Coefficient de température du zéro | <0.05%FS/°C |
| Coefficient de température de l’étendue de mesure | <0.05%Rd/°C |
| Sensibilité à la pression | 0.1%Rd/bar typique (N₂) |
| Temps de préchauffage | 2 min pour ±2%FS ; 30 min pour une précision optimale |
Module de pression
| Plage du capteur de pression | 2~100 mbar à 0.2~10 bar (pression absolue ou relative sélectionnable) |
| Plage de régulation de pression | 5~100 mbar à 0.5~10 bar (régulateur de pression électronique) |
| Précision de pression | ±0.5%FS |
Mécanique et électricité
| Pression de fonctionnement maximale | 10 bar (pression relative) |
| Température de fonctionnement | -10°C ~ +50°C |
| Configuration des voies | 3~9 voies, extensible |
| Matériau du collecteur | Aluminium anodisé ; acier inoxydable 316L (en option) |
| Pièces en contact avec le fluide | Acier inoxydable 316L |
| Matériau des joints | EPDM standard ; Viton/Kalrez (FFKM) en option |
| Module de filtration | Filtre en acier inoxydable fritté, 0.5/2/7/15 µm au choix |
| Types de vannes | Vannes de régulation normalement fermées/ouvertes ; électrovannes d’arrêt/à 3 voies |
| Valeur Kv de la vanne | Max Kv=1.0 |
| Température maximale de la vanne | 50°C |
| Alimentation électrique | 15~24 Vdc |
| Puissance (régulateur) | Max 320 mA |
| Puissance (débitmètre) | ~70 mA |
| Puissance de la bobine | 3W |
| Sortie analogique | 0-10Vdc (charge>2kΩ); 0-20mA/4-20mA (charge<375Ω) |
| Consigne analogique | 0(4)-20mA; 0-(5)10Vdc |
| Communication numérique | RS232/RS485, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, PROFIBUS DP, PROFINET, EtherCAT, FLOW-BUS |
| Raccordement électrique | Analogique/RS232/PROFIBUS : D-sub mâle à 9 broches ; DeviceNet : connecteur mâle à 5 broches M12 ; Modbus/EtherCAT/PROFINET : RJ45 |
| Montage | Trous de fixation inférieurs pour panneau/support ; toute orientation |
| Protection | IP40 |
| Assemblage en salle blanche | Disponible sur demande |
Conditions de mesure et remarques
- Le QT-COMP utilise une technologie de montage en surface sans tuyauterie qui intègre tous les modules fonctionnels sur un collecteur commun, réduisant considérablement les risques de fuite et l’encombrement par rapport aux raccordements par tubes traditionnels.
- Combinez selon vos besoins débitmètres/régulateurs de débit massique, capteurs/régulateurs de pression, filtres, chambres de mélange, vannes d’arrêt et vannes à 3 voies.
- Les raccords inférieurs permettent la maintenance et le remplacement des modules par le dessus, sans débrancher la tuyauterie inférieure.
- Entièrement testé et étalonné en usine pour une installation « plug-and-play », réduisant considérablement le temps et le coût de mise en service sur site.
- Prend en charge plusieurs protocoles de communication industrielle pour une intégration aisée aux systèmes de supervision PLC/DCS/DCIM.
- Des raccords à étanchéité faciale, des raccords à compression ou des brides peuvent être configurés pour répondre aux exigences de différents secteurs.
- Applications typiques : CVD/gravure de semi-conducteurs, régulation du gaz vecteur des instruments d’analyse, mélange de gaz pour bioréacteurs, régulation de procédés chimiques, dépôt sous vide/par plasma/par pulvérisation cathodique, régulation de combustion, évaluation des catalyseurs, etc.
Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.



