MFC / GAS FLOW
L’aspect du produit varie selon la configuration.
Régulateur de débit massique (MFC)
Série KC200
Le régulateur de débit massique de la série KC200 est conçu pour être intégré aux équipements de fabrication de semi-conducteurs, de production photovoltaïque et de dépôt sous vide. Des versions EtherCAT et RS-485 sont disponibles. Consultez les spécifications du modèle pour connaître les matériaux en contact avec le fluide, les options de joints et la compatibilité avec les gaz.
- Plage
- 0~10 sccm à 0~400 slm (équivalent azote)
- Précision
- ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) / ±1.0%S.P. (>30%F.S.)
- Rapport de plage
- 50:1
- Temps de réponse
- Régulateur ≤1s / Débitmètre ≤10ms
Configuration et adéquation confirmées pour votre application.
Paramètres de base
| Exigences relatives au fluide | Gaz propre et sec |
| Type de fluide | Air, azote, oxygène, dioxyde de carbone, hydrogène, méthane, ammoniac, silane, trichlorure de bore, chlore, etc. |
| Plage de débit¹ (équivalent azote) | (0~10, 20, 50, 100, 200, 500) sccm (0~1, 2, 5, 10, 20, 50) slm (0~100, 200, 400) slm ——Les plages ≥100 slm utilisent une vanne externe ——Autres plages disponibles, contactez-nous |
| Précision | ±0.3%F.S.² (≤30%F.S.) ——%F.S. désigne l’erreur en pourcentage de pleine échelle ±1.0%S.P.³ (>30%F.S.) ——%S.P. désigne l’erreur en pourcentage de la consigne |
| Rapport de plage | 50:1 |
| Temps de réponse⁴ | Régulateur : ≤1s Débitmètre : ≤10ms ——Le temps de réponse est le temps nécessaire pour atteindre ±2% de la consigne ou de la valeur finale stabilisée |
| Répétabilité | ≤±0.2%F.S. |
| Résolution | 0.01 sccm, ≤100 sccm 1 sccm, >100 sccm |
| Taux de fuite | Joint FKM : ≤4×10⁻¹⁰ Pam³/sHe Joint entièrement métallique : ≤1×10⁻¹² Pam³/sHe ——Version à joint entièrement métallique indisponible pour les plages ≥100 slm |
| Pression nominale maximale | 10bar |
Conditions environnementales
| Température de fonctionnement | 0~50℃ |
| Humidité de fonctionnement | 10%~90% R.H. (sans condensation) |
| Pression de fonctionnement⁵ | Régulateur : max 6 bar (personnalisable) Débitmètre : 10 bar ——La pression de fonctionnement désigne la pression différentielle entre l’entrée et la sortie |
| Température de stockage | -20~85℃ |
Paramètres électriques
| Alimentation électrique | DC24V |
| Consommation électrique | ≤2.7W |
| Temps de démarrage | ≤1s |
Interface de communication
| Version EtherCAT | Double port RJ45 (avec LED), adresse de l’appareil 1-999 configurable via le logiciel hôte ou une commande |
| Version RS485 | Interface DB9M ou double port RJ45 ; protocole Modbus-RTU Protocole MKS en option ; adresse de l’appareil 1-99 Vitesses de transmission prises en charge : 9600, 19200 (par défaut), 38400, etc. Configurable par commutateur DIP |
| Signal analogique (version RS485 en option) | 0-5V ou 4-20mA (via l’interface DB9M) |
| Affichage | Version EtherCAT : oui (sur le dessus) Version RS485 : non |
Paramètres mécaniques
| Type de connecteur | Bague : 1/4inch, 1/2inch ; VCR : 1/4inch, 1/2inch ; autres options disponibles |
| Matériaux en contact avec le fluide | Joint FKM : acier inoxydable 316L, élastomère fluoré, nitrure de silicium Joint entièrement métallique : acier inoxydable 316L ——Version à joint entièrement métallique indisponible pour les plages ≥100 slm |
| Matériau du corps | Embase : acier inoxydable 316L Boîtier : alliage d’aluminium |
| Matériau des joints | Élastomère fluoré FKM ou entièrement métallique |
| Poids | Régulateur : 0.85kg~2.8kg Débitmètre : 0.80kg |
Conditions de mesure et remarques
- Sauf indication contraire, ce produit est étalonné dans les conditions suivantes : azote, 25℃, pression différentielle de 2.5 bar (entrée 3.5 barA, sortie 1 barA), position horizontale.
- Il est recommandé d’installer une section droite de conduite de taille appropriée à l’entrée, sinon un écart de précision peut survenir.
- Il est recommandé d’utiliser les raccords les plus grands possibles à l’entrée et à la sortie pour éviter une perte de charge supplémentaire.
- Les plages indiquées sont disponibles pour l’azote.
- %F.S. désigne l’erreur en pourcentage de la pleine échelle.
- %S.P. désigne l’erreur en pourcentage de la consigne.
- Le temps de réponse correspond au temps nécessaire pour atteindre ±2% de la consigne.
- La pression de fonctionnement désigne la pression différentielle entre l’entrée et la sortie.
Confirmez la compatibilité des fluides, les matériaux, les raccords et les configurations disponibles avec notre équipe avant de commander.
