Das Erscheinungsbild des Produkts variiert je nach Konfiguration.
Fluidregelungslösungen (FCS)
QT-COMP Integriertes Gasregelsystem
QT-COMP ist ein kompaktes, rohrleitungsloses Gasregelsystem für OEMs und Systemintegratoren. Durchfluss- und Druckmodule lassen sich mit Ventilen, Filtern und Mischkammern auf einem modularen Verteiler kombinieren. Konfigurationen mit 3 bis 9 Kanälen sind erhältlich. Werkseitige Montage und Prüfung vereinfachen die Inbetriebnahme; von oben zugängliche Module erleichtern die Wartung in Geräten mit begrenztem Platz.
- Durchflussbereich
- 0.06~3 mln/min bis 1~50 Ln/min (N₂-Äquivalent)
- Genauigkeit (Durchfluss)
- ±0.5%Rd ±0.1%FS (Standard); ±1%FS für niedrige Bereiche
- Druckbereich
- 2~100 mbar bis 0.2~10 bar (Absolut-/Relativdruck)
- Genauigkeit (Druck)
- ±0.5%FS
Konfiguration und Eignung für Ihre Anwendung bestätigt.
Kernleistungsdaten
| Durchflussbereich | 0.06~3 mln/min bis 1~50 Ln/min (N₂-Äquivalent), höhere Bereiche anpassbar |
| Durchflussgenauigkeit | ±0.5% Rd ±0.1% FS (Standard); ±1% FS für Bereiche ≤3.5 mln/min |
| Messbereichsverhältnis | 1:50 (bis zu 1:187.5 im Digitalbetrieb) |
| Wiederholbarkeit | <0.1%FS; <0.2%Rd |
| Einschwingzeit | ≤1.2s (typisch oberhalb von 5%FS) |
| Regelstabilität | < ±0.1%FS (typisch für 1 Ln/min N₂) |
| Sensoransprechzeit | <0.1s |
| Temperaturkoeffizient des Nullpunkts | <0.05%FS/°C |
| Temperaturkoeffizient der Messspanne | <0.05%Rd/°C |
| Druckempfindlichkeit | 0.1%Rd/bar typisch (N₂) |
| Aufwärmzeit | 2 min für ±2%FS; 30 min für optimale Genauigkeit |
Druckmodul
| Drucksensorbereich | 2~100 mbar bis 0.2~10 bar (Absolut- oder Relativdruck wählbar) |
| Druckregelbereich | 5~100 mbar bis 0.5~10 bar (elektronischer Druckregler) |
| Druckgenauigkeit | ±0.5%FS |
Mechanik und Elektrik
| Max. Betriebsdruck | 10 bar (Relativdruck) |
| Betriebstemperatur | -10°C ~ +50°C |
| Kanalkonfiguration | 3~9 Kanäle, erweiterbar |
| Verteilerwerkstoff | Eloxiertes Aluminium; Edelstahl 316L (optional) |
| Medienberührte Teile | Edelstahl 316L |
| Dichtungswerkstoff | EPDM Standard; Viton/Kalrez (FFKM) optional |
| Filtermodul | Gesinterter Edelstahlfilter, 0.5/2/7/15 µm wählbar |
| Ventiltypen | Stromlos geschlossene/offene Regelventile; Magnet-Absperrventile/3-Wege-Ventile |
| Kv-Wert des Ventils | Max. Kv=1.0 |
| Maximale Ventiltemperatur | 50°C |
| Stromversorgung | 15~24 Vdc |
| Leistung (Regler) | Max. 320 mA |
| Leistung (Messgerät) | ~70 mA |
| Leistungsaufnahme der Magnetspule | 3W |
| Analogausgang | 0-10Vdc (Last>2kΩ); 0-20mA/4-20mA (Last<375Ω) |
| Analoger Sollwert | 0(4)-20mA; 0-(5)10Vdc |
| Digitale Kommunikation | RS232/RS485, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, PROFIBUS DP, PROFINET, EtherCAT, FLOW-BUS |
| Elektrischer Anschluss | Analog/RS232/PROFIBUS: 9-poliger D-sub-Stecker; DeviceNet: 5-poliger M12-Stecker; Modbus/EtherCAT/PROFINET: RJ45 |
| Montage | Befestigungsbohrungen an der Unterseite für Platte/Halterung; beliebige Ausrichtung |
| Schutz | IP40 |
| Reinraummontage | Auf Anfrage erhältlich |
Messbedingungen und Hinweise
- QT-COMP verwendet eine rohrleitungslose Oberflächenmontagetechnik, die alle Funktionsmodule auf einem gemeinsamen Verteiler integriert. Dies reduziert Leckagerisiken und Platzbedarf gegenüber herkömmlichen Rohrverbindungen erheblich.
- Kombinieren Sie Massendurchflussmesser/-regler, Drucksensoren/-regler, Filter, Mischkammern, Absperrventile und 3-Wege-Ventile nach Bedarf.
- Das Anschlusskonzept an der Unterseite ermöglicht Wartung und Modulaustausch von oben, ohne die unteren Rohranschlüsse zu lösen.
- Werkseitig vollständig geprüft und kalibriert für die Plug-and-play-Installation; reduziert Zeit und Kosten der Inbetriebnahme vor Ort erheblich.
- Unterstützt mehrere industrielle Kommunikationsprotokolle zur nahtlosen Integration in übergeordnete PLC/DCS/DCIM-Systeme.
- Flachdichtende Verschraubungen, Klemmringverschraubungen oder Flansche können entsprechend den Anforderungen verschiedener Branchen konfiguriert werden.
- Typische Anwendungen: Halbleiter-CVD/Ätzen, Trägergasregelung in Analysegeräten, Gasmischung für Bioreaktoren, chemische Prozessregelung, Vakuum-/Plasma-/Sputterbeschichtung, Verbrennungsregelung, Katalysatorbewertung usw.
Lassen Sie vor der Bestellung Fluidverträglichkeit, Werkstoffe, Anschlüsse und verfügbare Konfiguration von unserem Team bestätigen.
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Ansehen Fluidregelsysteme und -lösungen
QT200
Der Gasmischer der Serie QT200 ist für die Schutzgasversorgung von einer oder zwei Schweißmaschinen ausgelegt.
QT720
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Die Serie QT520 mischt kontinuierlich zwei nicht brennbare, nicht korrosive Gase.